检验是个细致活，每个细节都不要落掉，更不能存在侥幸心理。有一台设备，用户存放4年了，做完了常规的清理工作按部就班地连接好管路开始抽真空，怎么也达不到出厂标准，什么都查了，就是一根供气的真空胶管没查，半导体真空腔体加工，当时就认为真空胶管不会漏。结果恰恰相反，问题就出在这根真空胶管上。
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内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象；机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀，具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台25kg中频炉，2x一70旋片泵和150罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到l0pa，150罗茨泵的作用显现不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。
空隙间隔
真空的击穿电压与空隙间隔有着比较清晰的关系。试验标明，当空隙间隔较小时，击穿电压跟着空隙间隔的添加而线性添加，北京真空腔体加工，但跟着空隙间隔的进一步添加，击穿电压的添加减缓，即真空空隙发作击穿的电场强度跟着空隙间隔的添加而减小。当空隙到达一定的长度后，单靠添加空隙间隔进步耐压水平已经好不容易，这时选用多断口反而比单断口有利。
一般以为短空隙下的穿主要是场致发射引起的，而长空隙下的的穿则主要是微粒效应所致。
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