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---质谱检漏仪的基本原理与结构

---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，密封焊接件---检漏仪器多少钱，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，密封焊接件---检漏仪器报价，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

真空箱---检漏基本功能

操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，密封焊接件---检漏仪器厂家，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充---、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。工艺流程编辑a1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；b1：若a1检测不通过，则系统报警，密封焊接件---检漏仪器，大漏工件序号显示-----检测程序中止；b2：若a1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的---气本底抑零-----工件内充入---气-------真空模式，微漏检测；c1：若b2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止；c2：若b2检测通过，真空箱内充入---，同时工件内---气回收-------真空箱开门，检测完成。

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