




---质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。
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1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验;
2、对被检工件抽真空;
3、对被检工件充注---气;
4、真空箱法---质谱检测,自动判断工件漏率合格与不合格;
5、回收并循环使用---气;
6、如果---气浪费---,半导体---检漏设备生产厂家,可以将使用过程中浓度不合格的---气进行提纯
7、plc控制,北京半导体---检漏设备,触摸屏操作,自动检测。
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由于工件内外压差不能大于0.04mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充---、---检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能,以及急停按钮,---系统本身运行---安全和被检工件的安全。为了---工件的安全,系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式,以防止传感器失效而对系统造成的伤害。
结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统,分散与集中控制相结合,半导体---检漏设备厂家,层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机,半导体---检漏设备公司,用于向pid发布指令、系统运行状态集中管理。
控制系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能,---系统本身运行---安全和被检工件的安全。
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