维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，大型真空腔体加工公司，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。
1. 真空检漏基本概念
所谓漏气是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压流向低压侧的一种现象。真空系统
主要有以下几点:
虚漏.气密性.漏孔.漏率. 小可检漏率.检漏灵敏度.反应时间.消除时间.漏孔堵塞现象
2. 漏气的判断方法
1真空泵工作是否---
2真空系统内是否存在---放气
3真空系统容器壁或间隙处是否漏气
4是否漏气与放气现象共存
3. 真空检漏法
1可动部分：传动轴及其密封部分
2玻璃或陶瓷一类的易损部分
3波纹管
4使用法兰和垫圈的密封部分
5焊接部分的裂痕处
在科学设备中，我们一般通过真空泵来获取高真空。简单的真空泵就是机械泵，原理上和小气筒抽气是一样的。只不过是通过转子旋转，半导体真空腔体加工公司，将空气从吸气口吸入，然后从出气口排出。机械泵能够达到的真空度大概是1pa，也就是---压的十万分之一。
当然了，河北真空腔体加工公司，这样的真空度还远远达不到很多物理实验的要求。这时就要请出另一位“泵”届大佬，分子泵。分子泵利用靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合，给空气分子一个额外的定向速度，从腔体中抽出。
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