北京真空腔体加工公司-科创真空产品-铝材真空腔体加工公司

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    2023-6-26

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影响真空绝缘水平的主要因素

电极资料

真空开关作业在10-2pa以上的高真空,因为此刻气体分子十分稀疏,气体分子的碰撞游离对击穿已经不起效果,因而击穿电压表现出和电极资料有较强的相关性。

真空空隙的击穿电压跟着电极资料的不同而不同,研究者发现击穿电压和资料的硬度与机械强度有关。一般来说,硬度和机械强度较高的资料,往往有较高的绝缘强度。比如,钢电极在淬火后硬度进步,北京真空腔体加工公司,其击穿电压较淬火前可进步80%。

此外,击穿电压还和阴极资料的物理常数如熔点、比热和密度等正相关,即熔点较高的资料其击穿电压也较高。比照热和密度而言亦然。这一问题的实质是在相同热能的效果下,资料发作熔化的概率越大,则击穿电压越低。






真空泄漏

大的泄漏通常会非常明显:真空腔体压力未按正常速度下降,或者---压力明显高于正常值。然而,有些时候,由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载,小的泄漏很难被发现,这时,真空腔体加工公司,即使真空计的读数仍然在正常的水平,泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体(如氧气),这些气体有时候会对工艺过程(比如某些镀膜工艺)带来非常---的影响。所以,无论真空系统的压力是否有明显下降,都应该定期进行泄漏检测。




真空检漏的具体方法

---压力合格,升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,半导体真空腔体加工公司,主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点,通常在1×10-9~9.9×10-4pa·m3/s之间。检漏步骤为:

用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹---气,遍针头移动的速度可以快些,对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏,在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

不按压气袋,不锈钢真空腔体加工公司,用针头缓慢地对位置进行检查,漏孔会吸入针头中存有的少量---气,观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化,找到漏率大且上升快的点即是漏点。

向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹---气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入---气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。





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