本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，硅片除气装置生产厂家，分为上中下三层箱室，硅片除气装置公司，均可独立工作。具备以下主要功能：
1. 对储存箱室抽真空；
2. 控制储存箱室恒压稳定；
3. 具备加热烘烤功能；
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；
6. 具备自动和手动两种操作模式；
7. plc控制，触摸屏操作
1. 腔室内尺寸：号宽1050x高200x深700mm 号宽1050x高380x深700mm；
2. ---真空度：2×10-5pa；
3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除---能，±3℃；
4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；
5. 观察窗：每一个箱室均配一个φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；
6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；
7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。
一种真空除气存储柜，北京硅片除气装置，包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等，柜体内设置有一个或多个储物室，储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端，柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖，储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板，托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连，真空除气炉。
本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方，环境温度是5-35℃，硅片除气装置价格，环境湿度是35%~65%的相对湿度；且要保持放置---期通风---的位置。
请小心将物品放入机台，关上箱门，检查是否密闭。试验结速后，站侧面打开箱门，以免热气烫到---。
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