




1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过---质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易---,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
汽车空调两器检测要求
1.1 空调两器实际工况
1.空调两器工作介质:氟利昂或者碳氢化合物作为制冷剂工作于汽车空调内部,目前比较流行使用r134a作为汽车空调的制冷剂。
2.压力范围:不同规格的空调两器工作范围在2.0~3.5mpa之间,正常工作压力在0.8~2.0mpa之间。注:特殊情况除外。
3.气密性要求:对于两器产品,充注一定压力r134a制冷剂,泄露量小于2克/年。
4. 耐压要求:对产品加压到实验压力,保压一段时间,降到常压,经检查无泄漏和异常变形。
1.2 空调两器---检漏基本要求
1.耐压测试要求:一般两器在执行---检漏之前会充注一定压力(一般不超过3.5mpa)的高纯氮气或者干燥的压缩空气,汽车零部件---检漏系统公司,对工件作耐压测试,如果不出现明显变形及大漏,再执行---检测工艺。
2.---检测精度要求:由于不同生产企业对产品的检测要求不尽相同,但一般都会遵循行业标准,或比行业标准要求稍高。通常“两器”检测标准不会超过1克/年。
3.检测节拍要求:据调查一般的两器生产厂家年产量都会在十万只以上,要实现所有产品全部使用---检测,就要求---检测节拍越快越好。中科科美生产的---检系统,针对冷凝器检漏节拍在40秒/件,针对蒸发器检漏可达20秒每件;
4.---气回收要求:---检漏系统使用---气作为示踪气体,真空箱式---检漏系统公司,由于---气比较贵重,如果直接排放,必然导致检测成本的大幅增加。因此,一般厂家都会要求---气可回收,即循环利用。---检系统,---检漏系统公司,---气回收率可达95%以上。
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---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,---气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,油箱---检漏系统公司,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
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