真空泵(vacuum pump)
利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备(如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等)组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、、航天等部门。
按其工作原理，基本---为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括：1、液环真空泵(水环真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
目前工业中应用较多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。
w型往复式真空泵( model w piston vacuum pump )是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工，食品，建材等部门，---是在真空结晶，干燥，过滤，蒸发等工艺过程中更为适宜。
2x型旋片式真空泵( model 2x sliding vane rotary vacuum pump )
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。
2xz型旋片式真空泵( model2xz sliding vane rotary vacuum pump )
具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，便携式---质谱检漏仪，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
xd型旋片式真空泵( model xd sliding vane rotary vacuum pump )
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷---法寻找漏点，更换密封件。
2 本底信号不稳定
1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有---气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。
2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有---的接地。
3）本底信号不稳定，检查泵油是否浑浊，被污染。
钨铼丝具有高熔点，便携式---质谱检漏仪公司，高强度、高硬度、高塑性、高的再结晶温度、高电阻率、低蒸汽压、低电子逸出功和低的塑性脆性转变温度等优点。但钨铼丝制作的灯丝极易氧化，在真空、惰性气体中可以保持很长的使用寿命，但在氧化性气氛中容易被碳化，降低其灵敏性并引发脆断，在有氢气存在的情况下，会加速碳化。
---质谱检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2pa，灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中，当出现意外情况，便携式---质谱检漏仪厂家，系统突然暴露---或真空度突然降低，导致大量的气体突然进入电离室，真空度***1x10-1pa时，便携式---质谱检漏仪生产厂家，灯丝电流急剧增大，灯丝被碳化，就发生了脆断现象。
---质谱检漏仪灯丝寿命如何延长？有前面分析已知，造成---质谱检漏仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述---环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长---质谱检漏仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入有害气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。
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