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---质谱检漏仪

充---法

的整体检漏就是可以用这种方法，将放入大型环模室中，利用环模设备的真空系统将环模---真空，先用辅助泵进行粗抽和预抽，在检漏时先通过机械泵将及充气管道---真空后，将---气充入中，电子器件---检漏设备生产厂家，压力保持和工作的压力一致，开启---质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器，蒸发器---检漏设备生产厂家，就可以直接测量的漏率了。

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逆流---质谱检漏仪

逆流---质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对---气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lo4～106。检漏时，密封焊接件---检漏设备生产厂家，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的---气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流---顷质谱检漏仪的工作原理。