本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，硅片除气装置价格，分为上中下三层箱室，均可独立工作。具备以下主要功能：
1. 对储存箱室抽真空；
2. 控制储存箱室恒压稳定；
3. 具备加热烘烤功能；
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；
6. 具备自动和手动两种操作模式；
7. plc控制，触摸屏操作
真空测量装置：采用复合真空计，使测量准确。
加热烘烤组件：采用铠装管加热，包括工件托盘及支架，硅片除气装置，箱室顶部中心测温。功率：9.5千瓦，控制精度：±1℃。
管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了---的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵：选用涡旋干式真空泵，无油运行，硅片除气装置公司，可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵：选用脂润滑复合分子泵，可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了---的物质基础。
使用环境
设备占地面积约：长2米，宽1.6米（约3.2平米）高1.95米；
电源：380 v±38 v，硅片除气装置生产厂家，50 hz±0.5 hz，约15kw（外部电源用户自备）；
工件要求：无油污，无腐蚀性物质；
环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
相对湿度： 20%-85%；
设备应安装在通风---的厂房内。
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