---质谱检漏仪-科创真空产品-真空---质谱检漏仪

检漏仪的故障和处理

1 内部的泄漏

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷---法寻找漏点，国产---质谱检漏仪公司，更换密封件。

2 本底信号不稳定

1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有---气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。

2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有---的接地。

3）本底信号不稳定，检查泵油是否浑浊，便携式---质谱检漏仪价格，被污染。

---气检漏仪的工作原理是什么？

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，真空---质谱检漏仪，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让---离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，---质谱检漏仪，收集放大器收集---离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。

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