科创真空公司-北京半导体真空腔体加工

真空腔体——实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、---压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有---了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，北京半导体真空腔体加工，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，半导体真空腔体加工公司，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，半导体真空腔体加工厂家，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊---侧断续焊）等等。