检验是个细致活，每个细节都不要落掉，更不能存在侥幸心理。有一台设备，用户存放4年了，做完了常规的清理工作按部就班地连接好管路开始抽真空，怎么也达不到出厂标准，什么都查了，就是一根供气的真空胶管没查，当时就认为真空胶管不会漏。结果恰恰相反，问题就出在这根真空胶管上。
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半导体真空腔体市场近几年快速发展，越来越多的公司也表达了进入芯片领域的兴趣.以存储芯片为例，以前国内存储芯片完全靠进口，真空腔体加工生产厂家，今年福建晋华集成电路的内存生产线有望投产，另外长江存储科技公司也在建设内存和闪存芯片生产线.格力、康佳等传统家电企业也表示，将进入芯片领域.
据国际半导体设备与材料协会报告显示，目前正在天津、西安、北京、上海等16个地区打造25个fab建设项目，福建晋华集成电路、长江存储科技公司等企业技术水平虽不及韩国，但均已投入芯片量产.报告预测，今年半导体设备市场规模有望达118亿美元，实现同比43.9%的增长，并且明年市场规模有望扩大至173亿美元，增长46.6%，成为大市场.而同一时期内韩国的半导体设备市场规模从179.6亿美元减少至163亿美元，减幅为9.2%.---韩国成为很大半导体设备市场.
找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法是换件，小到胶圈、螺栓，大到阀门、真空泵，大型真空腔体加工生产厂家，只要手头上有的都可以换；对于需要焊接的部位应按要求来进行，真空腔体加工生产厂家，焊接后还需确认达到了要求。
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