科创真空公司-电力开关真空箱---质谱检漏仪

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，电力开关真空箱---质谱检漏仪生产厂家，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过---质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易---，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和---环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

---检漏设备

（1）对于压---法，不需要考虑地球干洁------分压的影响。但是如果候检环境------分压---升高，对于内腔有效容积大，电力开关真空箱---质谱检漏仪，且等效标准漏率小的密封器件，电力开关真空箱---质谱检漏仪价格，会加大测量漏率值，所以压---结束后，被检器件应尽快离开压---设备所在的房间。

对于预充---法，地球干洁------分压会使测量漏率通过---值后出现值，且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/ cm3 时，值点仍处于分子流范围，不能靠粗检法鉴别，所以需辅以压---法复检，才能防止漏检。

（3）地球干洁------分压会使预充---法候检时间的特征点变大，电力开关真空箱---质谱检漏仪公司，从而扩大了需要辅以压---法复检的范围，但第二特征点不变，也不影响压---法复检的结果。