焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免---中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接，通常采用弧焊来完成焊接。弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体气，半导体真空腔体加工，以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。真空腔体的弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。
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机械抛光机械抛光是靠切削、材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法，一般使用油石条、羊毛轮、砂纸等，以手工操作为主，特殊零件如回转体表面，北京真空腔体加工，可使用转台等---，表面要求高的可采用超精研抛的方法。超精研抛是采用的磨具，在含有磨料的研抛液中，紧压在工件被加工表面上，作高速旋转运动。利用该技术可以达到表面粗糙度ra0.008μm，是各种抛光方法中高的，光学镜片模具常采用这种方法。
真空腔体的加热方式分为内加热和外加热两种，外加热是在腔体外部加热，依靠腔体壁将热量传导进来，不锈钢真空腔体加工，通过热辐射传递热量;内加热是直接在真空腔体内部进行加热，相比内加热方式，外加热有滞后性，真空腔体加工，且内加热方式的控温精度相对于外加热来说更，所以一般情况下我们会选择内加热方式.
加热器的选择也非常重要，一般选用安装方便的扣板式加热板进行内加热.扣板式加热板的表面是镜面的不锈钢板，在平整度上比直接由真空腔体壁抛光更有优势，更利于进行热辐射传导热量.
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