小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如或---，用向的地方喷射或---，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了，也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，卧式真空腔体加工品牌，再喷射。好是反复几次，确认漏点。zhc一1仪表也可以用上述方法来检漏，不同的是zhc．1仪表能在旋片泵工作范围内进行检漏，而且不怕暴露于---中。
超声波抛光将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光。超声波加工宏观力小，真空腔体加工品牌，不会引起工件变形，但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的基础上，再施加超声波振动搅拌溶液，使工件表面溶解产物脱离，表面附近的腐蚀或电解质均匀；超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程，利于表面光亮化。
维修应注意拆卸、清洁、检验、装配等环节。真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，一定不能用大锤去敲；清洗零件时要干净、，大型真空腔体加工品牌，以便于发现问题和查出---；真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，铝材真空腔体加工品牌，而真空泵的楞角分明，很易伤手，应多加小心，切记。
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