真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。
真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和真空系统中，应用较广。
为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。
并非所有的抽气时间延长、---压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有---了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。
真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。
真空阀门是在真空管道系统中使用的真空系统组件或真空阀设备，可重定向气流，调整气流大小并切断或连接管道。阀门可以在现场进行手动和远程控制，也可以通过电动，真空腔体加工，电磁驱动（电磁阀）进动和液压控制。真空阀门是介质循环或压力系统中用于调节介质流量或压力的设备。其功能包括断开或连接介质，控制流量，更改流量，非标真空腔体加工，更改介质流向，防止介质返回，控制压力或释放压力。真空阀门
真空阀门具有以下特征：
压力低于---压，阀瓣压降不能超过1 kgf/cm2、介质的工作温度取决于设备的使用过程。通常，卧式真空腔体加工，温度不超过-70？+ 150°c的范围。阀门（例如真空球阀）的基本要求是---高度的连接密封以及紧凑的结构和垫片材料。
根据压力真空阀可分为4组：
1.低真空阀：中压p = 760？1mmhg；
2.中压真空阀：p = 1×10-3mmhg。
3.高真空阀：p = 1×10-4？1×10-7mmhg；
4.真空阀：p≤1×10-8mmhg。
真空阀门中真空波纹管截止阀是一种广泛使用的闭路阀，直径小于250毫米，阀杆线性运动。真空闸阀的---，但这主要用于大直径的真空闸阀。有高真空蝶阀等。真空阀的关闭部分用橡胶密封圈或金属密封圈密封。波纹管真空截止阀的波纹管由不锈钢，黄铜，塑料和其他材料制成。小直径真空截止阀的关闭部分可用隔膜密封。高真空球阀可用于低和中真空。
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