---质谱检漏方法是基于---质谱检漏仪的---分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，---和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入---质谱泄漏检测器后，由于---质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中---的分压信号。 在获得---气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到---气的泄漏量。
质谱室
形象的说，质谱室是---质谱检漏的---，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，河北真空镀膜机检漏生产厂家，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，冷凝器真空镀膜机检漏生产厂家，将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。
真空系统
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01pa的真空度，同时------离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是---的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，电池真空镀膜机检漏生产厂家，系统中设置了标准漏孔。
电气系统
---质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，---面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
辅助真空系统的配置
在---质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、---检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的---影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常---的。
标准漏孔
使用---质谱仪的时候是否---质谱仪能通过自检，那就认为这台---质谱检漏仪是正常的呢？其实不然，---质谱仪能通过自检，只是说明，---质谱仪本身基本没有问题。但是，---质谱仪是否准确？这个不确定。
吸---法主要用于检查某些大型密封容器。如弹体、、气罐、油罐等，先将容器抽真空，再给容器充入---气(为了节省用---量，可以用低浓度---气) ，在---质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管，橡皮管的前端有直径很小的毛细管，使毛细管在充了---的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动，如果该容器有漏隙，经漏隙渗出的---会被毛细管吸入，检漏仪就会响应。
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