真空腔体的加热方式分为内加热和外加热两种，外加热是在腔体外部加热，依靠腔体壁将热量传导进来，通过热辐射传递热量;内加热是直接在真空腔体内部进行加热，相比内加热方式，不锈钢真空腔体加工品牌，外加热有滞后性，且内加热方式的控温精度相对于外加热来说更，所以一般情况下我们会选择内加热方式.
加热器的选择也非常重要，一般选用安装方便的扣板式加热板进行内加热.扣板式加热板的表面是镜面的不锈钢板，在平整度上比直接由真空腔体壁抛光更有优势，更利于进行热辐射传导热量.
常规的维修可以按部就班地去做，应急条件下设备出了故障，生产任务又急不可待，这种情况下，只要判断故障准确，采用手头上现有的材料，真空封泥、真空封蜡、704硅胶、真空腔板等一切可用的材料。只要与在制品不发生冲突，就可以进行修理。有一台外地产的新镀镜机，正常工作月余，停机---真空室门自己打开了，用户急于恢复生产，自行拆检忙了两天，没有解决问题。经检查发现是真空室门有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用户尽快地恢复了生产。有一台中频炉，低真空时工作正常，在6pa时就放电，经检查发现是l放电造成的，大型真空腔体加工品牌，---解决问题的办法是大修，需时一周。根据用户急于使用的要求，用704硅胶封闭了l放电的，第二天就能正常生产。有一台真空设备，供热密封采用刀口法兰，用户不慎使无氧铜垫出现了“双眼皮”，造成漏气。该密封处的温度低于l100℃，真空腔体加工品牌，用户急用，用焊锡将无氧铜垫焊平，再用---将松香清洗干净，解决了该处的密封问题。应急的原则是在不损坏设备和不影响在制品的条件下做到设备能正常生产。
现在真空设备的应用领域愈来愈广，很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题，这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的，有的是绝缘材料或结构上的问题。这时，不要急于下结论，不要急于拆卸设备，应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不---的损失。有一台设备，工作时发生放电现象，经过对工作记录的分析和与操作者的交流，得出不同的结论，有人认为电源有问题，有人认为是装配过程的问题。，对设备进行了拆卸，重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机，下半部的产品明显好于上半部的，靶的外表看不出什么问题来，拿高斯计一试，卧式真空腔体加工品牌，上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路，换了磁环，产品上下一致的问题得到了解决。
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