




真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
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密封器件的---质谱细检漏技术细分为压---法(即背压法) 和预充---法两种。d a howl 等首先给出了压---法测量漏率re 与等效标准漏率l 的关系,并---该关系对应的气流状态为分子流,文献---将压---法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉,电力开关真空箱---检漏公司,就得到预充---法的相应关系式。无论是压---法还是预充---法,电力开关真空箱---检漏,在公式推导中都假定候检期间环境---中不存在---分压。然而,实际上地球干洁---中含有少量---气;压---时通常会产生检漏用---气对环境---的污染,电力开关真空箱---检漏,使环境---分压超过地球干洁---中的---分压。因此,北京---检漏,推导和分析环境---中---分压对压---法和预充---法的影响是十分---的。
由于工件内外压差不能大于0.04mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充---、---检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能,以及急停按钮,---系统本身运行---安全和被检工件的安全。为了---工件的安全,系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式,以防止传感器失效而对系统造成的伤害。
结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统,分散与集中控制相结合,层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机,用于向pid发布指令、系统运行状态集中管理。
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