




一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。
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本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方,环境温度是5-35℃,硅片除气装置,环境湿度是35%~65%的相对湿度;且要保持放置---期通风---的位置。
请小心将物品放入机台,硅片除气装置公司,关上箱门,检查是否密闭。试验结速后,站侧面打开箱门,以免热气烫到---。
设备是一种可以提供真空环境的储存设备,硅片除气装置,分为上中下三层箱室,均可独立工作。
设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括:(1)在正常情况下,在保修期间内非人为因素引起的一切设备问题和自然磨损;(2)备品备件清单,供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。(3)在保修期内由需方使用不当造成的维修,只收需方的材料费。
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