




---压力合格,升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点,真空腔体加工厂家,通常在1×10-9~9.9×10-4pa·m3/s之间。检漏步骤为:
用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹---气,半导体真空腔体加工厂家,遍针头移动的速度可以快些,对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏,铝材真空腔体加工厂家,在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。
不按压气袋,用针头缓慢地对位置进行检查,漏孔会吸入针头中存有的少量---气,观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化,找到漏率大且上升快的点即是漏点。
向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹---气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,真空腔体加工厂家,然后向罩中喷入---气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。

核聚变装置的10-4pa量级高真空运行环境的获得主要由低温泵、涡轮分子泵等可获得真空的泵实现。根据不同功能特点,有3类低温泵安装在iter装置上。cryostat低温泵抽气系统集成了两台超临界---气冷却低温吸附泵。200台分子泵需要满足不同子系统的应用要求。较低的真空获得由螺杆泵、罗茨泵和涡旋泵实现。为满足iter装置的环境条件,包括edwards和pfeiffer公司在内的真空泵制造商已经对真空泵的性能进行了适应性调整。为使edwards公司生产的涡轮分子泵的磁场容限适用范围更为宽泛,磁场容限增强型next400分子泵采用了16mm壁厚的马氏体不锈钢整体泵腔结构,导热基板的空气冷却结构,真空陶瓷引电和金属密封装置,以及耐辐射密封元件优化等多项新技术,实现了160mt磁场条件下---运行。
一般真空腔体内部是规则的长方体,用一面加热进行热辐射的方式热传导不能合理涵盖整个腔体的内部空间,所以效果不是很理想,.经过试验论证,采取在真空腔体内正上方、正下方、左侧面、右侧面各安装一套加热板加热的方法,采用面对面热辐射方式对腔体内部进行加热.
由于设备在真空状态下采用了上,下,左,右四面四路加热的方法,比单纯一路加热就要复杂多了,这也是温度控制的难点.因此采用pid来进行温度控制调节,控温热偶设置在腔体内部,这样可以---地控制真空腔体内的温度.

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