




真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
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真空法---质谱检漏:
采用真空法检漏时,天津空调两器真空---检漏仪,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气,当被检产品表面有漏孔时,---气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入---质谱检漏仪,空调两器真空---检漏仪生产厂家,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。
---质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此---质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:
一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。
二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出---气,而电离规,---是磁放电真空规对---有记忆效应,其表面污染时就更为---。
三、抽气系统中抽速不稳定和---的反扩散。
四、检漏仪中空气的本底影响。
五、残余气体分子对离子的散射作用。
六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。
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