检漏灵敏度高，可以检漏到10-11pam3/s 数量级，仪器响应快，---分子在仪器高真空的环境中扩散的速度---;所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在装备中也离不开检漏，弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到---质谱检漏仪，本文主要真对---质谱检漏仪原理及方法进行综述。
真空法---质谱检漏：
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，---检漏系统，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，密封焊接件---检漏系统，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。
实际使用---气检漏设备时，其较小可检出泄漏率为5×10-13pa·m3 / s； 泄漏率显示的范围为1×10-3—1×10-13pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内； 响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力：1000pa； 电源需要220v，50hz，单相，10a。
使用---气检漏设备时，避雷器---检漏系统，请注意其机械泵的抽速为4l / s； 工作环境要求为5-40℃； 应注意相对湿度必须小于或等于80％; 尺寸：600（w）×550（d）×1000（h）; 通常重量将保持在65kg。 关于---气检漏设备，应注意其配备了标准---气检漏装置，包括更详细的校准报告。
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