




一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。
使用环境
设备占地面积约:长2米,河北硅片除气装置,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;
电源:380 v±38 v,硅片除气装置品牌,50 hz±0.5 hz,硅片除气装置厂家,约15kw(外部电源用户自备);
工件要求:无油污,硅片除气装置价格,无腐蚀性物质;
环境温度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
相对湿度: 20%-85%;
设备应安装在通风---的厂房内。
真空除气存储柜、真空除气炉的控制操作可以选择手动与自动两种模式。
该设备有两种工艺流程:常温保压工艺与加热除气工艺。用户可根据实际情况需要,在设备上设定需要的执行功能与详细的目标参数。当用户设定参数之后,系统即按照用户的设定参数默认执行。
设备具有---的智能化,当用户设定的参数目标值存在错误或逻辑冲突时,系统会及时提醒并不能按照错误的数据启动运行设备。并可以提供20+组不同的参数组,供客户选择和修改。并且具备工艺记忆功能,方便客户的使用。
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