




1、真空除气装置,真空除气炉报价,硅片除气装置生产厂家,在抽真空之前放置好产品、关闭箱室门,然后启动抽真空,加热系统持续不间断渐热。真空除气炉公司,硅片除气装置,达到设定真空度时,保持加热并持续保持真空度,设定工艺完成后,自动停止抽真空,加热系统关闭。当进入维持真空模式时,低于下限的时候自动启动;(启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空破空)
2、真空度设定操作见操作说明书,硅片除气装置价格,用不到的功能禁止调整。
3、试验时间完成后,自动破空,硅片除气装置公司,破空完成后,方可开门取出产品。
真空测量装置:采用复合真空计,使测量准确。
加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了---的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了---的物质基础。
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。具备以下主要功能:
1. 对储存箱室抽真空;
2. 控制储存箱室恒压稳定;
3. 具备加热烘烤功能;
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;
6. 具备自动和手动两种操作模式;
7. plc控制,触摸屏操作
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