




1. 真空检漏基本概念
所谓漏气是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙,从高压流向低压侧的一种现象。真空系统
主要有以下几点:
虚漏.气密性.漏孔.漏率. 小可检漏率.检漏灵敏度.反应时间.消除时间.漏孔堵塞现象
2. 漏气的判断方法
1真空泵工作是否---
2真空系统内是否存在---放气
3真空系统容器壁或间隙处是否漏气
4是否漏气与放气现象共存
3. 真空检漏法
1可动部分:传动轴及其密封部分
2玻璃或陶瓷一类的易损部分
3波纹管
4使用法兰和垫圈的密封部分
5焊接部分的裂痕处

内漏多发生在有水冷套的设备上,查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象;机械泵的抽速明显偏低,真空计示值低,机械泵油很快乳化,真空室内的铁基零部件明显锈蚀,具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台25kg中频炉,真空腔体加工品牌,2x一70旋片泵和150罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到l0pa,150罗茨泵的作用显现不出来,天津真空腔体加工,没发现有外漏,却具备了机械泵油很快乳化,真空室内铁基件明显锈蚀的条件,解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净,再通冷却水,看有无湿润点,湿润处就是漏点。
真空技术应用领域的不断拓展促进了不同学科间的相互融合和交叉学科的诞生。真空和高真空技术的进步推动了半导体、航天航空、能源等高技术产业的发展,真空腔体加工,为人类的可持续发展提供了保障。近些年,真空腔体、泵、阀门和密封件在增材制造、核聚变、粒子和集成电路等领域发展的带动下取得新的进展,支撑了重要理论验证和重大工程建设,催生了新的科研成果

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