大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者---压力明显高于正常值。然而，有些时候，大型真空腔体加工，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，真空腔体加工，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常---的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。
电极的几许形状
电极的几许形状对电场的分布有很大的影响，往往因为几许形状不行恰当，引起电场在部分过于集中而导致击穿，这一点在高电压的真空产品中---杰出。
电极边际的曲率半径大小是重要因素。一般来说，曲率半径大的电极接受击穿电压的能力比曲率半径小的大。
此外，真空腔体加工，击穿电压还和电极面积的大小成反比，即跟着电极面积的增大而有所下降。面积增大导致耐压下降的原因主要是放电概率添加。
用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，不锈钢真空腔体加工，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏，现在已经生产zhc．1型仪表。该检漏仪表用zj．2电离规管，规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话，可以检测到l0p的漏率。
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