




---质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lo-9~10-12pam3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,阀门---检漏仪公司,本底噪声---减小.其灵敏度可达10-14~10-15pam3/s,适用于真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流---质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12pam3/s。
---质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。
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---质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此---质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:
一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。
二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出---气,北京---检漏仪,而电离规,---是磁放电真空规对---有记忆效应,阀门---检漏仪报价,其表面污染时就更为---。
三、抽气系统中抽速不稳定和---的反扩散。
四、检漏仪中空气的本底影响。
五、残余气体分子对离子的散射作用。
六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。
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