




1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过---质谱检漏后,在低漏率真空条件下,真空箱式---检漏仪价格,这些气体不易---,---检漏仪价格,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
为---汽车空调的制冷效果和使用寿命,汽车空调的蒸发器、冷凝器、压缩机等的检漏是不可少的,传统的检漏方法,由于其灵敏度低、使用烦杂、工作强度大等因素,如水检法、卤素法、压力衰减法等已被高灵敏度、规范化、的真空检漏技术——---充气回收检漏系统所替代并取得理想的效果。
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充---法
的整体检漏就是可以用这种方法,将放入大型环模室中,利用环模设备的真空系统将环模---真空,空调蒸发器---检漏仪价格,先用辅助泵进行粗抽和预抽,在检漏时先通过机械泵将及充气管道---真空后,电力开关真空箱---检漏仪价格,将---气充入中,压力保持和工作的压力一致,开启---质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器,就可以直接测量的漏率了。
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