1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间.
电解抛光
电解抛光基本原理与化学抛光相同，即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。电化学抛光过程分为两步：（1）宏观整平 溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降，ra>;1μm。（2）微光平整 阳极极化，表面光亮度提高，ra＜1μm 。
找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法是换件，小到胶圈、螺栓，不锈钢真空腔体加工公司，大到阀门、真空泵，只要手头上有的都可以换；对于需要焊接的部位应按要求来进行，北京不锈钢真空腔体加工，焊接后还需确认达到了要求。
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