1.较小检漏率: 即---质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入---质谱检漏仪后，真空箱镀膜机检漏，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，北京镀膜机检漏，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于---的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间: ---质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的---气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，---气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中---分压力上升。然后取出被检产品，真空箱式镀膜机检漏，将表面的残余---气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的---气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏标准主要有qj3212-2005<---质谱背压检漏方法>、gjb360a-1996<电子及电气元件试验方法方法112 密封试验>，蒸发器镀膜机检漏，主要应用于各种电子元器件产品检漏。
---质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器
---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。
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