设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。
设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括：（1）在正常情况下，在保修期间内非人为因素引起的一切设备问题和自然磨损；（2）备品备件清单，供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。（3）在保修期内由需方使用不当造成的维修，只收需方的材料费。
1. 腔室内尺寸：号宽1050x高200x深700mm 号宽1050x高380x深700mm；
2. ---真空度：2×10-5pa；
3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除---能，±3℃；
4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；
5. 观察窗：每一个箱室均配一个φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；
6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；
7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，硅片除气装置品牌，异常诊断报警，硅片除气装置公司，故障诊断，河北硅片除气装置，并停止设备运行的功能。
使用环境
设备占地面积约：长2米，宽1.6米（约3.2平米）高1.95米；
电源：380 v±38 v，50 hz±0.5 hz，约15kw（外部电源用户自备）；
工件要求：无油污，无腐蚀性物质；
环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
相对湿度： 20%-85%；
设备应安装在通风---的厂房内。
河北硅片除气装置-北京科创真空-硅片除气装置公司由北京科创鼎新真空技术有限公司提供。“---检漏设备,---质谱检漏仪,lng抽真空设备”选择北京科创鼎新真空技术有限公司，公司位于：北京市昌平区科技园区仁和路4号3幢321房间，多年来，科创真空坚持为客户提供好的服务，联系人：任经理。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。科创真空期待成为您的长期合作伙伴！
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