




本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,硅片除气装置厂家,均可独立工作。具备以下主要功能:
1. 对储存箱室抽真空;
2. 控制储存箱室恒压稳定;
3. 具备加热烘烤功能;
4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;
5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;
6. 具备自动和手动两种操作模式;
7. plc控制,触摸屏操作
一种真空除气存储柜,硅片除气装置生产厂家,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。
本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方,河北硅片除气装置,环境温度是5-35℃,环境湿度是35%~65%的相对湿度;且要保持放置---期通风---的位置。
请小心将物品放入机台,关上箱门,检查是否密闭。试验结速后,站侧面打开箱门,以免热气烫到---。
本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺:半导体硅片除气;3d打印金属工件与合金材料的高真空热处理;x射线管高真空除气。
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