




正压法
正压方法是首先用一种以上的---压---气或---气的混合气体填充压力容器装置。在压力容器装置的外部检测中,泄漏孔泄漏到外部---气中,压缩机---质谱检漏仪价格,然后找到泄漏孔。当用抽吸搜索---气时,一旦---气被吸入,---气检漏设备将显示泄漏率值。在这种情况下,压缩机---质谱检漏仪公司,由于压力容器装置的外部是一个---压,充入压力容器装置的气压需要至少一个---压或更多个---压。然而,压力不应太高。如果压力过高,插入设备的压力表或其他插件会弹出,造成伤害和其他危险事故。
---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,压缩机---质谱检漏仪,同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,---气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
充---法
的整体检漏就是可以用这种方法,将放入大型环模室中,压缩机---质谱检漏仪多少钱,利用环模设备的真空系统将环模---真空,先用辅助泵进行粗抽和预抽,在检漏时先通过机械泵将及充气管道---真空后,将---气充入中,压力保持和工作的压力一致,开启---质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器,就可以直接测量的漏率了。
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