真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统
1．配置与气路控制
真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。
工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：---气储存罐(高压罐)，---气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充---回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，---检漏仪器公司，实施对整个系统的工作控制，密封焊接件---检漏仪器公司，对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，压缩机---检漏仪器公司，电气控制系统关闭v1，打开v2
2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力，稳定，关闭v2
3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，避雷器---检漏仪器公司，打开v2对---气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的---气回收，对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的---分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。
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密封器件的---质谱细检漏技术细分为压---法(即背压法) 和预充---法两种。d a howl 等首先给出了压---法测量漏率re 与等效标准漏率l 的关系，并---该关系对应的气流状态为分子流，文献---将压---法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充---法的相应关系式。无论是压---法还是预充---法，在公式推导中都假定候检期间环境---中不存在---分压。然而，实际上地球干洁---中含有少量---气；压---时通常会产生检漏用---气对环境---的污染，使环境---分压超过地球干洁---中的---分压。因此，推导和分析环境---中---分压对压---法和预充---法的影响是十分---的。
操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充---、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。工艺流程编辑a1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；b1：若a1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；b2：若a1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的---气本底抑零-----工件内充入---气-------真空模式，微漏检测；c1：若b2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止；c2：若b2检测通过，真空箱内充入---，同时工件内---气回收-------真空箱开门，检测完成。
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