---质谱检漏仪生产厂家-科创真空公司-真空---质谱检漏仪生产厂家

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    2023-12-8

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---质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分

---质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离,电离出来的正离子经过电场加速---通过缝隙进入均匀磁场,离子束在磁场力的作用下,旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极,此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后,经小电流放大器、微处理器,控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小1。

三.---质谱检漏仪在压力容器中的常用方法

在压力容器中,使用---质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,即喷---法(负压法),吸法(正压法),---罩法。就几种方法的灵敏度比较而言,喷---法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时,也不敢确切地说喷---法的灵敏度就是高。











---质谱检漏仪

吸法

吸法是先向压力容器装置中充入一个以上的---压的---气或---气与其他气体的混合气,从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的---气,进而发现漏孔。

吸法(正压法)检漏,用纯---检时,可使用---气回收装置,重复使用,以降低使用成本。或使用浓度不低于5~10%的---气混合气体,使用完后,可直接向---中排放,要注意周围环境中的---气的浓度,注意周围环境中空气的流动情况,因为这会影响到吸法的检测精度。吸法(正压法)检漏与卤素检漏---相似,但应注意的是容器内所充的示踪气体是不同的,即使有相同的漏率值,真空---质谱检漏仪生产厂家,其意义也是不同的,能够区分这一点很重要。除实验测试比较法以外另有计算式q1η1= q2η2(q为气体的泄漏流量,η为气体的粘度系数),q1m11/2= q2m21/2(m为气体的分子量)。吸法检漏中应注意以下几个问题:

1、灵敏度受连接管道的流导的---。

2、初次检漏时、被检件体内切勿充入过高压力的---气。因为如果有漏孔,---气会从被检件物中漏出,---质谱检漏仪生产厂家,造成较大浪费,而且---气到处扩散,给检漏仪带来非常大的干扰。因此,一般应先向被检件物内充以低压力、低浓度的---气,再充入高压力,高浓度的---气,对小漏孔进行检漏。如果存在较大漏孔时,可对检件体行加压水中发泡法检大漏,这样既可以减少---气的浪费,因为---气较贵(不同浓度的价格也不同),又可避免对---检漏仪的---的损害。











---质谱检漏仪的结构和工作原理

---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度p1 优于200 pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当p1降至20 pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。

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