真空腔体是内部为真空状态的容器，很多的技术工艺均需要在真空或惰性气体保护条件下完成，真空腔体是这些工艺过程中重要的基础设备.
根据真空度真空被分为低真空（100000-100pa），中真空（100-0.1pa），高真空（0.1-10-5pa），大型真空腔体加工，真空（10-5-10pa）。低真空主要应用于隔热及绝缘、金属熔炼脱气、无氧化加热、真空冷冻及干燥和低压风洞等;高真空主要应用于真空冶金、真空镀膜设备等领域;真空则偏向物理实验方向。
真空度
显现了空隙击穿电压和气体压强之间的关系。由图可以看到真空度高于10-2pa时，击穿电压基本上不再跟着气体压力的下降而增大，因为气体分子碰撞游离现象已不复兴效果。当气体压力从10-2pa逐步升高时(真空度下降)，大型真空腔体加工价格，击穿强度逐步下降，以后又随气压的而。从曲线上可以看出真空度高于10-2pa时其耐压强度基本上坚持不变。这就标明，真空灭弧室的真空度在10-2pa以上时完全可以满足正常的运用需求。
真空腔体的加热方式分为内加热和外加热两种，外加热是在腔体外部加热，依靠腔体壁将热量传导进来，通过热辐射传递热量;内加热是直接在真空腔体内部进行加热，相比内加热方式，外加热有滞后性，大型真空腔体加工品牌，且内加热方式的控温精度相对于外加热来说更，大型真空腔体加工，所以一般情况下我们会选择内加热方式.
加热器的选择也非常重要，一般选用安装方便的扣板式加热板进行内加热.扣板式加热板的表面是镜面的不锈钢板，在平整度上比直接由真空腔体壁抛光更有优势，更利于进行热辐射传导热量.
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