真空获得设备--产生、---或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及的真空泵和真空机组。a、机械真空泵：旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。b、蒸汽流真空泵：水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。c、气体捕集真空泵：钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。d、真空机组：即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。
1、泵设备本身出现了漏气：
（1）泵的密封不严，光伏真空负压，在轴封处出现了漏气，需要更换气阀片；
（2）密封圈出现了漏气，要检查密封部位的密封情况，换好的密封圈；
（3）气镇阀垫圈出现了损坏或没有拧紧，需要更换垫圈同时拧紧气镇阀；
2、转子与转子或转子与壳体之间出现的间隙很大，微型真空负压，空气温度过高：湿式泵可以通过在进气口处注入冷水来解决，干式泵可以在出气口加冷 却器来降低空气温度。
3、泵的进出口气体介质的压力差过大：干式泵需检查安 全阀是否失灵，如失灵出气压力可能偏高，天津真空负压，湿式泵可能是出口水封压力过高或是出口管径过小、弯头太多而增加了出口阻力所致，要根据具体原因进行解决。
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强的要求，如：真空镀膜要1x10-5mmhg的真空度 ，选用的真空泵的真空度至少要5x10-5mmhg.通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、真空泵的价格、运转及维修费用。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
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