




一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,北京硅片除气装置,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。
真空测量装置:采用复合真空计,使测量准确。
加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了---的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,硅片除气装置,可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了---的物质基础。
本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方,环境温度是5-35℃,环境湿度是35%~65%的相对湿度;且要保持放置---期通风---的位置。使用前注意电压是否正确,仅适用机台上所标示之电压,避免电过量,而使电线走火.请勿置于潮湿之场所,请勿直接用水冲洗,以防漏电;
请小心将物品放入机台,关上箱门,检查是否密闭。试验结速后,站侧面打开箱门,以免热气烫到---。
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