科创真空公司-半导体真空腔体加工价格-北京真空腔体加工价格

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    2024-1-2

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真空腔体

1. 真空检漏基本概念

所谓漏气是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙,从高压流向低压侧的一种现象。真空系统

主要有以下几点:

虚漏.气密性.漏孔.漏率. 小可检漏率.检漏灵敏度.反应时间.消除时间.漏孔堵塞现象

2. 漏气的判断方法

1真空泵工作是否---

2真空系统内是否存在---放气  

3真空系统容器壁或间隙处是否漏气

4是否漏气与放气现象共存

3. 真空检漏法

1可动部分:传动轴及其密封部分  

2玻璃或陶瓷一类的易损部分

3波纹管

4使用法兰和垫圈的密封部分

5焊接部分的裂痕处






常见真空腔体技术性能

材质:不锈钢、铝合金等

腔体适用温度范围:-190℃~+1500℃(水冷)

密封方式:氟胶o型圈或金属无氧铜圈

出厂检测事项:

1、真空漏率检测1.3*10-10mbar*l/s

2、水冷水压检测:8公斤24小时无泄漏检测.

内外表面处理:拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等.






真空检漏的具体方法

---压力合格,不锈钢真空腔体加工价格,升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点,通常在1×10-9~9.9×10-4pa·m3/s之间。检漏步骤为:

用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹---气,北京真空腔体加工价格,遍针头移动的速度可以快些,对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏,在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

不按压气袋,用针头缓慢地对位置进行检查,漏孔会吸入针头中存有的少量---气,铝材真空腔体加工价格,观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化,非标真空腔体加工价格,找到漏率大且上升快的点即是漏点。

向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹---气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入---气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。





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