北京汽车零部件---检漏仪器-北京科创真空公司

逆流---质谱检漏仪

逆流---质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对---气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lo4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的---气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流---顷质谱检漏仪的工作原理。

---检漏设备

---质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lo-9～10-12pam3/s，北京汽车零部件---检漏仪器，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声---减小.其灵敏度可达10-14～10-15pam3/s，适用于真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流---质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12pam3/s。