1.较小检漏率: 即---质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入---质谱检漏仪后，充气柜镀膜机检漏，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于---的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间: ---质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间
---质谱检漏方法是基于---质谱检漏仪的---分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，冷凝器镀膜机检漏，---和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入---质谱泄漏检测器后，由于---质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中---的分压信号。 在获得---气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到---气的泄漏量。
近年来，随着高真空检漏技术科学领域的不断发展和应用技术的日趋成熟，以及高真空检漏仪器技术的不断---和进步仪器更新换代很快。从技术性能、高---性、准确性、---性、灵活性和等各方面都有着划时代的进步，从而使高真空检漏仪器从科学研究领域、实验室的应用逐渐普及到工业和民用领域的应用。
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