天津硅片除气装置-硅片除气装置价格-科创真空产品

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸：号宽1050x高200x深700mm  号宽1050x高380x深700mm；

2. ---真空度：2×10-5pa；

3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除---能，±3℃；

4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；

5. 观察窗：每一个箱室均配一个φ100观察窗，材质为石英玻璃，硅片除气装置多少钱，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；

7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，天津硅片除气装置，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。

真空除气炉、真空存储柜的保养维护

保修期满后，硅片除气装置公司，供方将以优惠价格向用户提供备品备件，并对设备提供有偿技术和维修服务；

设备安装调试时，对用户进行技术培训，培训内容包括设备的工作原理、操作、安全、维修、质控等。

设备日常维护包括真空泵的油位检查、电机有无异响、电压电流是否正常、水冷机制冷与流量是否存在异常。真空室内保持清洁，不得有灰尘、异物或者溅入液体以及腐蚀性物质。应当定期对箱室清洁，可以进行酒精擦拭、氮气吹扫等。