




---质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业,小型---质谱检漏仪,甚至乡镇企业、个体企业,可以说应用领域极其宽广。
航空航天---工业
1)例如火箭发动机及姿态发动机,过去是---刷肥皂水检漏,现在重新改进工艺用---质谱检漏仪检漏,采用正压吸与---罩法结合,使检漏灵敏度---提高,从而---了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸、---罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用,提高了检漏灵敏度,弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。
2)km6空间环模装置设备庞大,主真空室直径12m、高22m,另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3,分系统多,真空---质谱检漏仪,结构复杂,各种接口焊缝相加有几千米长,采用---质谱检漏仪负压检漏,每条焊缝由检漏盒密封,配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后,充入一定压力---气,关闭预抽阀,开启检漏阀。由于盒内---浓度较高,相对检漏仪又有一定压力,北京---质谱检漏仪,因此有效提高了检漏灵敏度。
3)航天工业中,各类阀门、电子元器件,传感器等等都在广泛应用---质谱检漏仪及其检漏技术。
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---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到---震动,国产---质谱检漏仪,此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。


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