真空---质谱检漏仪----质谱检漏仪-科创真空公司

---质谱检漏仪

吸法

吸法是先向压力容器装置中充入一个以上的---压的---气或---气与其他气体的混合气，从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的---气，进而发现漏孔。

吸法（正压法）检漏，国产---质谱检漏仪，用纯---检时，可使用---气回收装置，重复使用，以降低使用成本。或使用浓度不低于5~10%的---气混合气体，使用完后，可直接向---中排放，要注意周围环境中的---气的浓度，注意周围环境中空气的流动情况，因为这会影响到吸法的检测精度。吸法（正压法）检漏与卤素检漏---相似，但应注意的是容器内所充的示踪气体是不同的，即使有相同的漏率值，其意义也是不同的，便携式---质谱检漏仪，能够区分这一点很重要。除实验测试比较法以外另有计算式q1η1= q2η2（q为气体的泄漏流量，η为气体的粘度系数），q1m11/2= q2m21/2（m为气体的分子量）。吸法检漏中应注意以下几个问题：

1、灵敏度受连接管道的流导的---。

2、初次检漏时、被检件体内切勿充入过高压力的---气。因为如果有漏孔，---质谱检漏仪，---气会从被检件物中漏出，造成较大浪费，而且---气到处扩散，给检漏仪带来非常大的干扰。因此，一般应先向被检件物内充以低压力、低浓度的---气，再充入高压力，高浓度的---气，对小漏孔进行检漏。如果存在较大漏孔时，可对检件体行加压水中发泡法检大漏，这样既可以减少---气的浪费，因为---气较贵（不同浓度的价格也不同），又可避免对---检漏仪的---的损害。

检漏仪的故障和处理

1设备的分子泵不启动

分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。

2设备的质谱室不能正常工作

质谱室主要是灯丝无---常加电，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。

3前级机械泵工作不正常

主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，真空---质谱检漏仪，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在+10至+40之间使用。

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