北京科创真空公司-半导体真空腔体加工

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真空腔体加工的注意事项

焊接是真空腔体制作中的环节之一。通常采用弧焊来完成焊接,可避免---中熔化的金属和氧气发生化学反应而影响焊接,弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体气,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。

真空腔体的弧焊接,原则上必须采用内焊,真空腔体加工,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。真空腔体不允许内外双重焊接和双重密封

个---压在1cm2的面积上产生约1kgf的压力,对直径20cm的法兰来讲,就是1t的压力。圆筒或球形的腔体,由于构造的特殊性使得压力分散,腔体的壁厚2~4mm就不会变形。

但是,对于方形腔体,侧面的平板上要承受上吨的压力,必须通过增加壁厚或设置加强筋,才能防止变形。






真空腔体

真空阀门出现断头螺栓的解决方法

1.锉方榫拧出法和管子钳拧出法,适用于螺栓在螺孔外有5mm以上高度的断头螺栓。

2.点焊拧出法适用于断头螺栓在螺孔外或断头螺栓与螺孔相平的条件下,它是由钻有比螺孔小的孔的扁钢制成,点焊填满孔后拧出。

3.方孔楔拧出法适用于断在螺孔内的螺栓,卧式真空腔体加工,方法是先将螺栓中间钻一小孔,用方孔锥具敲人小孔中,然后拧出。

4.钻孔攻丝恢复法适用于无法取出螺栓的情况,它是先将真空阀门中螺栓断面整平,打样冲后,用比螺纹内径稍小的钻头钻孔,按原螺纹攻丝而成。

5.断头螺栓在采用以上拧出方法之前,不锈钢真空腔体加工,应采取一些常规措施,铝材真空腔体加工,如---浸透、清理表面油污锈迹(这点---对点焊的拧出法更重要,否则焊不牢)。要时,还可将真空阀门的螺栓周围加热,在热塑的条件下将螺栓拧出。对断头螺栓的拧出还可以采用化学腐蚀方法,适当清洗锈死和腐蚀的螺栓、螺孔,会加速断头螺栓的拧出(拧出螺栓后应用水冲洗螺孔,以免残存化学药剂腐蚀阀件)。




真空泄漏

大的泄漏通常会非常明显:真空腔体压力未按正常速度下降,或者---压力明显高于正常值。然而,有些时候,由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载,小的泄漏很难被发现,这时,即使真空计的读数仍然在正常的水平,泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体(如氧气),这些气体有时候会对工艺过程(比如某些镀膜工艺)带来非常---的影响。所以,无论真空系统的压力是否有明显下降,都应该定期进行泄漏检测。




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