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涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起,动、静盘之间由防自转机构---180°相位差,这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。涡旋真空泵具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内具有稳定的抽速,由于压缩腔容积的变化是连续的,涡旋真空泵,因而驱动扭矩变化小,涡旋真空泵,功率变化小,振动噪声低,这是其他类型的干式真空泵所不具备的。

涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:
品行业:升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。
科研院所:旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。
电子光伏:浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。
航天航空:钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。
冶金行业:浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。
核工业:零泄露爪泵可抽除uf6气体


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