---质谱检漏技术是在真空检漏技术领域里应用广泛的一种，这种检漏方法的优点是：检漏灵敏度高（可以检漏到10-12pa·m3/s数量级）、仪器响应快、操作简便、成本较低、用途广泛等，所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用。
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---质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体，抽真空系统---检漏公司，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器
---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。
这是常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷喷---，如图4 所示，如果被检器件某处有漏孔，当---喷到漏孔上时，---气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，---质谱检漏仪的输出就会立即有响应，使用这种方法应注意:---气是较轻的惰性气体，在喷出后会自动上升，为了准确的在漏孔位置喷---，喷---时应自上而下，由近至远(相对检漏仪位置) ，北京抽真空系统---检漏，这是因为在喷下方时---气有可能被上方漏孔吸入，就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷---应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
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