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真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现

一种真空除气存储柜，包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等，柜体内设置有一个或多个储物室，储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端，硅片除气装置公司，柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖，储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板，托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连，真空除气炉。

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸：号宽1050x高200x深700mm  号宽1050x高380x深700mm；

2. ---真空度：2×10-5pa；

3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除---能，±3℃；

4. 整体结构型式：泵箱一体，硅片除气装置多少钱，三个腔室；

5. 观察窗：每一个箱室均配一个φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，河北硅片除气装置，自动保持真空，可手动独立控制工作；

7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。